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    MP500 選化沉金系列干膜光阻劑

      MP500 選化沉金系列干膜光阻劑

    MP500 選化沉金系列干膜光阻劑特別針對高解析度線路,具有優秀的耐堿性蝕刻性能。MP515和MP520可幾乎應用于所有電鍍工藝,包括鍍金。

    特色及優點

    極好的耐堿性蝕刻性能

    高解析度

    較好地應用于圖形電鍍

    較好地應用于直接電鍍

    用于沉金電鍍工藝過程

    蓋孔能力優異

    鍍金性能可達100μin

    項目
    單位
    MP515
    MP520
    備注
    厚度
    μm
    40
    50

    感度*1
    mj/cm2
    70
    90

    最短顯影時間
    sec.
    45
    55

    附著力*1*2(L/S=X/250)
    μm
    40
    50

    解析度*1*2(L/S=X/X)
    μm
    30
    40

    蓋孔孔徑
    μm
    6.0
    7.0

    *1:MP515(SST=7/21):采用Stouffer21格曝光尺,推薦硬化格數的中心值的曝光能量,海圣平行光曝光機制作(UVE-HSP5K-11

    *2:1wt%Na2CO3,30℃,最短顯影時間x2

    *3:分辨率、解析度以及顯影后圖像。



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